1、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級(jí)

　　集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級(jí)主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級(jí)是依據(jù)可能污染的概率和對(duì)器件的潛在故障確定的。

　　舉例說明：

　　例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求：

　　光刻、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 3級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 5級(jí)

　　例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求：

　　光刻、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 4級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 6級(jí)

　　2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

　　隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級(jí)和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國(guó)內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造無塵車間的空氣潔凈度等級(jí)。

　　舉例說明：

　　例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點(diǎn)。

　　各無塵車間空氣潔凈度等級(jí)，控制粒子粒徑為0.3um

　　清洗、涂膠、曝光間 ISO 4級(jí)

　　顯影、刻蝕間 ISO 5級(jí)

　　成盒間 ISO 5級(jí)

　　濺射、CVD間 ISO 6級(jí)

　　例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

　　各無塵車間的空氣潔凈度等級(jí)要求

　　涂布頭 ISO 5級(jí)

　　備件、切帶、帶基、測(cè)試、涂布間和烘干、固化間 ISO 6級(jí)

　　組裝、維修間和部分原料庫(kù) ISO 7級(jí)

　　砂磨、化驗(yàn)間和配件間 ISO 8級(jí)

　　成品庫(kù)和部分原料庫(kù) 準(zhǔn)潔凈間

　　3、精密機(jī)械、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

　　例一、一個(gè)陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間

　　無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求

　　裝配間 ISO 6級(jí)

　　軸承加工間 ISO 5級(jí)

　　例二、一個(gè)感光膠片生產(chǎn)用無塵車間

　　流延機(jī)頭部，涂布機(jī)頭部 ISO 5級(jí)

　　涂布室，流延機(jī)室 ISO 6級(jí)